Makalah ini berkaitan dengan penjadwalan perawatan untuk fasilitas Flexible Manufacturing System (FMS) yang terdiri dari empat mesin-CNC identik dan memiliki karakteristik yang sama sehingga mempunyai kemampuan yang sama untuk dapat memproses benda kerja. FMS memerlukan jadwal perawatan untuk seluruh mesin agar tidak terlalu banyak interupsi pada saat produksi berlangsung sebelum operasi tanpa awak dijalankan. Pada penelitian ini dikembangkan suatu model penjadwalan perawatan dengan pendekatan Semi Markov Process untuk menentukan jadwal perawatan mesin dengan kriteria meminimasi ongkos perawatan. Lima status sistem yang mungkin terjadi adalah : status E1 dimana keempat mesin dalam keadaan baik, status E2 dimana mesin-CNC-1 dalam keadaan rusak sedangkan ketiga mesin lainnya dalam keadaan baik, status E3 dimana mesin-CNC-2 dalam keadaan rusak sedangkan ketiga mesin lainnya dalam keadaan baik, status E4 dimana mesin-CNC-3 dalam keadaan rusak sedangkan ketiga mesin lainnya dalam keadaan baik, dan status E5 dimana mesin-CNC-4 dalam keadaan rusak sedangkan ketiga mesin lainnya dalam keadaan baik. Berdasarkan perhitungan akan diperoleh suatu fungsi ongkos untuk semua status yang mungkin terjadi. Kebijakan perawatan keempat mesin dapat ditentukan berdasarkan fungsi ongkos tersebut. Misalnya jika sistem berada pada status E2, E3, E4 atau E5 apakah harus segera diusahakan untuk berubah kestatus E1 atau menunggu sampai jadwal perawatan pencegahannya tiba.